Nghiên cứu, chế tạo màng mỏng oxit niken bằng kỹ thuật phún xạ từ trường sử dụng nguồn xung công suất lớn
- Nhan đề :
-
Nghiên cứu, chế tạo màng mỏng oxit niken bằng kỹ thuật phún xạ từ trường sử dụng nguồn xung công suất lớn
- Tác giả :
-
Nguyễn Đức Tường;Vũ Ngọc Pi
- Từ khóa :
-
Oxit niken,Màng mỏng,Phún xạ từ trường,Nguồn xung công suất lớn
Tải file tóm tắt
Nghiên cứu, chế tạo màng mỏng oxit niken bằng kỹ thuật phún xạ từ trường sử dụng nguồn xung công suất lớn
